உயர் தூய்மை செப்பு ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள் – சதுரம் (4N-6N)
உயர் தூய்மை செப்பு ஸ்பட்டரிங் டார்கெட் – செயல்முறை மற்றும் தர உறுதி அறிக்கை
எங்களின் சதுர வடிவ செப்பு ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள், மேம்பட்ட பூச்சு செயல்முறைகளில் நம்பகமான மெல்லிய படலப் படிவுக்குத் தேவைப்படும் மிகத் துல்லியமான தரநிலைகளுக்கு ஏற்பத் தயாரிக்கப்படுகின்றன.
மிக உயர்ந்த தூய்மையையும் மூலப்பொருட்களின் சீரான தன்மையையும் பராமரிப்பதற்காக, உற்பத்தியானது கடுமையாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெற்றிட அடிப்படையிலான பணிப்பாய்வு முறையைப் பின்பற்றுகிறது:
● மூலப்பொருள் தேர்வு: சான்றளிக்கப்பட்ட மின்பகுப்பு செப்பு எதிர்மின்முனைகள் (≥99.99%) மட்டுமே தொடக்கப் பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
● வெற்றிட உருகுதல்: உயர் வெற்றிடம் அல்லது மந்த வளிமண்டலத்தின் கீழ் செய்யப்படும் தூண்டல் உருகுதல், ஆக்ஸிஜன் கலப்பையும் ஆவியாகும் அசுத்தங்களையும் குறைக்கிறது.
●வார்ப்பு மற்றும் சுத்திகரிப்பு: கட்டுப்படுத்தப்பட்ட திசைசார் திடப்படுத்துதல், ஒருபடித்தான கலவை மற்றும் குறைந்தபட்சப் பிரிதலுடன் கூடிய வார்ப்புக்கட்டிகளை உருவாக்குகிறது.
●வெப்ப வேலைப்பாடு: வடித்தல் அல்லது வெப்ப அழுத்தம் மூலம், கோட்பாட்டுக்கு நிகரான அடர்த்தியும் செம்மைப்படுத்தப்பட்ட இழை அமைப்பும் அடையப்படுகிறது.
●துல்லியமான இயந்திர வேலைப்பாடு: CNC மில்லிங் மற்றும் கிரைண்டிங் மூலம் தட்டையான, இணையான மேற்பரப்புகளுடன் கூடிய துல்லியமான சதுரப் பரிமாணங்கள் உருவாக்கப்படுகின்றன.
●மேற்பரப்பு மெருகூட்டல்: பல-படிநிலை மெருகேற்றமானது, தூய்மை அறைப் பயன்பாட்டிற்கு ஏற்ற கண்ணாடி போன்ற பளபளப்பை வழங்குகிறது.
●விருப்பத்திற்கேற்பப் பிணைப்பு: வெப்ப மேலாண்மைக்காக, மாலிப்டினம்/செம்பு ஆதாரத் தகடுகளுடன் இண்டியம் அல்லது எலாஸ்டோமரைப் பிணைக்கும் வசதி உள்ளது.
●இறுதி சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பொதியிடல்: அதிதூய நீரில் மீயொலி முறையில் சுத்தம் செய்தல், அதனைத் தொடர்ந்து இரட்டை அடுக்கு சுத்தமான பைகளில் வெற்றிட முத்திரையிடல்.
தரக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு
● மூல கேத்தோடு தொகுதியிலிருந்து முடிக்கப்பட்ட இலக்கு வரை முழுமையான தடமறிதல்
● ஒவ்வொரு சரக்கு அனுப்பலுடனும் மூலப்பொருள் சான்றிதழ்கள் மற்றும் சோதனை அறிக்கைகள் வழங்கப்படும்.
● மூன்றாம் தரப்பு சரிபார்ப்புக்காக (SGS, BV, முதலியன) காப்பக மாதிரிகளை ≥3 ஆண்டுகள் வைத்திருத்தல்.
● முக்கிய அளவுருக்களின் 100% பரிசோதனை:
• தூய்மை மற்றும் மாசுகள் (GDMS/ICP-MS பகுப்பாய்வு; வழக்கமான ஆக்ஸிஜன் <10 ppm)
• அடர்த்தி அளவீடு (ஆர்க்கிமிடீஸ் முறை; ≥99.5%)
• தானிய அளவு மற்றும் நுண்ணமைப்பு (உலோகவியல் பரிசோதனை)
• பரிமாணத் துல்லியம் (CMM; தட்டையான தன்மை ≤0.05மிமீ)
• மேற்பரப்பு சொரசொரப்பு மற்றும் குறைபாடுகள் (புரோஃபைலோமீட்டர் + நேரடிக் காட்சி ஆய்வு)
● உள்ளக விவரக்குறிப்புகள் ASTM F68 தேவைகளை விட அதிகமாக உள்ளன. வழக்கமான பண்புகள்: வெப்பக் கடத்துத்திறன் >390 W/m·K, மின்தடைத்திறன் <1.7 μΩ·cm, சீரான ஸ்பட்டரிங் வீதம் மற்றும் படலத் தரம்.
● தூய்மை அறைக்கு ஏற்ற செயல்முறைகள் மற்றும் ISO 9001:2015 சான்றளிக்கப்பட்ட ஆலை ஆகியவை, ஒவ்வொரு இலக்கும் நவீன PVD பயன்பாடுகளின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்கின்றன.










